- 产品描述
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• 设备技术参数
高精度光学元件加工解决方案加工曲面类型 除常规非球面外，可加工高陡度及非常规光学元件 加工轨迹 光栅轨迹 加工口径 30-150mm 加工工件外形 圆形、椭圆形、矩形及任意多边形 加工材料 K9(BK7)、熔石英、ULE、微晶、硅、碳化硅、镍磷合金等 加工精度 面形精度RMS≤2nm，表面粗糙度Rq≤0.5nm(常规精度)面形精度RMS≤0.5nm，表面粗糙度Rq≤0.1nm(极限精度)设备特点 利用机械臂高速灵活等特点与相位偏折检测技术结合实现超高加工、检测闭环效率，适合小口径非球面批量加工及非常规光学元件的单件加工
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专注中大口径非球面及自由曲面的高端精密光学元件加工及检测装备
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