- 产品描述
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• 设备技术参数
高精度光学元件加工解决方案加工曲面类型 平面、球面、同轴及离轴非球面、自由曲面(选配) 加工轨迹 光栅轨迹 加工口径 30-650mm 加工工件外形 圆形、椭圆形、矩形及任意多边形 加工材料 K9(BK7)、熔石英、ULE、微晶、硅、镍磷合金、铝合金等 加工精度 面形精度RMS≤2nm,表面粗糙度Rq≤1nm设备特点 具备多种直径离子源装置可灵活更换,适合中小口径常规非球面及自由曲面超精密加工
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