磁流变
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离子束加工、子孔径拼接检测案例

2022-03-11 00:00:00
离子束加工、子孔径拼接检测案例
详细介绍:

·Fused silica

·C.A.=103.5mm

·Concave

·Nominal Radii=100mm

·R/#=0.966 After lapping

·RMS~1/25λ

IBF加工前RMS 23.7nm,加工后RMS 3.4nm


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